ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (UHP) ಅನಿಲಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಜೀವಾಳ. ಜಾಗತಿಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಗಳಿಗೆ ಅಭೂತಪೂರ್ವ ಬೇಡಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಡಚಣೆಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲದ ಬೆಲೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಿರುವುದರಿಂದ, ಹೊಸ ಅರೆವಾಹಕ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಿವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರಿಗೆ, UHP ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುವುದು ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (UHP) ಅನಿಲಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ.

UHP ಅನಿಲದ ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದು ಜಡತ್ವ: UHP ಅನಿಲವನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಘಟಕಗಳ ಸುತ್ತಲೂ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿನ ತೇವಾಂಶ, ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಹಾನಿಕಾರಕ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಂದ ಅವುಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಹಲವು ವಿಭಿನ್ನ ಕಾರ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಜಡತ್ವವು ಒಂದಾಗಿದೆ. ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಹಿಡಿದು ಎಚಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳವರೆಗೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಅನೇಕ ವಿಭಿನ್ನ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಾದ್ಯಂತ ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಕೆಲವು "ಕೋರ್" ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಾರಜನಕ(ಸಾಮಾನ್ಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ),ಆರ್ಗಾನ್(ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ),ಹೀಲಿಯಂ(ವಿಶೇಷ ಶಾಖ-ವರ್ಗಾವಣೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ) ಮತ್ತುಜಲಜನಕ(ಅನೀಲಿಂಗ್, ಶೇಖರಣೆ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಹು ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ).

ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವಿಕಸನಗೊಂಡು ಬದಲಾದಂತೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು ಸಹ ಬದಲಾಗಿವೆ. ಇಂದು, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕಗಳು ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳುಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ಮತ್ತುನಿಯಾನ್ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF 3 ) ಮತ್ತು ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (WF 6 ) ನಂತಹ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರಭೇದಗಳಿಗೆ.

ಸ್ವಚ್ಛತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆ

ಮೊದಲ ವಾಣಿಜ್ಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ನ ಆವಿಷ್ಕಾರದ ನಂತರ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಆಶ್ಚರ್ಯಕರವಾದ ಘಾತೀಯ ಹೆಚ್ಚಳಕ್ಕೆ ಜಗತ್ತು ಸಾಕ್ಷಿಯಾಗಿದೆ. ಕಳೆದ ಐದು ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಈ ರೀತಿಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸುಧಾರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಖಚಿತವಾದ ಮಾರ್ಗವೆಂದರೆ "ಗಾತ್ರ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್": ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಜಾಗಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಹಿಂಡುವ ಸಲುವಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಹೊಸ ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಬಳಕೆಯು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಜಿಗಿತಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಿದೆ.

ಇಂದು, ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಆಯಾಮಗಳು ಈಗ ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದು, ಗಾತ್ರವನ್ನು ಅಳೆಯುವುದು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಮಾರ್ಗವಲ್ಲ. ಬದಲಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಶೋಧಕರು ನವೀನ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು 3D ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಹುಡುಕುತ್ತಿದ್ದಾರೆ.

ದಶಕಗಳ ನಿರಂತರ ಮರುವಿನ್ಯಾಸವು ಇಂದಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು ಹಳೆಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಶಕ್ತಿಶಾಲಿಯಾಗಿದೆ ಎಂದರ್ಥ - ಆದರೆ ಅವು ಹೆಚ್ಚು ದುರ್ಬಲವೂ ಆಗಿವೆ. 300mm ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಗಮನವು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅಶುದ್ಧತೆ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ (ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅಪರೂಪದ ಅಥವಾ ಜಡ ಅನಿಲಗಳು) ಸಣ್ಣದೊಂದು ಮಾಲಿನ್ಯವು ಸಹ ದುರಂತ ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು - ಆದ್ದರಿಂದ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ ಈಗ ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕಕ್ಕೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಅನಿಲವು ಈಗಾಗಲೇ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಂತರ ಅತಿದೊಡ್ಡ ವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಬೇಡಿಕೆ ಹೊಸ ಎತ್ತರಕ್ಕೆ ಏರಿದಂತೆ ಈ ವೆಚ್ಚಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗುವ ನಿರೀಕ್ಷೆಯಿದೆ. ಯುರೋಪಿನಲ್ಲಿನ ಘಟನೆಗಳು ಉದ್ವಿಗ್ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಅನಿಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಅಡ್ಡಿ ಉಂಟುಮಾಡಿದೆ. ಉಕ್ರೇನ್ ವಿಶ್ವದ ಅತಿ ದೊಡ್ಡ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ರಫ್ತುದಾರರಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ.ನಿಯಾನ್ಚಿಹ್ನೆಗಳು; ರಷ್ಯಾದ ಆಕ್ರಮಣವು ಅಪರೂಪದ ಅನಿಲದ ಸರಬರಾಜನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸುತ್ತಿದೆ ಎಂದರ್ಥ. ಇದು ಕೊರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳ ಬೆಲೆ ಏರಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಯಿತು, ಉದಾಹರಣೆಗೆಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ಮತ್ತುಕ್ಸೆನಾನ್.