ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (UHP) ಅನಿಲಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಜೀವಾಳವಾಗಿದೆ. ಜಾಗತಿಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಗಳಿಗೆ ಅಭೂತಪೂರ್ವ ಬೇಡಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಡೆತಡೆಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲದ ಬೆಲೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರಿಂದ, ಹೊಸ ಅರೆವಾಹಕ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಿವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರಿಗೆ, UHP ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ಆಧುನಿಕ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (UHP) ಅನಿಲಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ

UHP ಅನಿಲದ ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ ಜಡತ್ವ: UHP ಅನಿಲವನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ಘಟಕಗಳ ಸುತ್ತಲೂ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿನ ತೇವಾಂಶ, ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಹಾನಿಕಾರಕ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಂದ ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ವಿವಿಧ ಕಾರ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಜಡತ್ವವು ಒಂದು. ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಹಿಡಿದು ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳವರೆಗೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ಅವಶ್ಯಕವಾಗಿದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಕೆಲವು "ಕೋರ್" ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಾರಜನಕ(ಸಾಮಾನ್ಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ)ಆರ್ಗಾನ್(ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣೆಯ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ)ಹೀಲಿಯಂ(ವಿಶೇಷ ಶಾಖ-ವರ್ಗಾವಣೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ) ಮತ್ತುಜಲಜನಕ(ಅನೆಲಿಂಗ್, ಡಿಪಾಸಿಷನ್, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಹು ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ).

ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವಿಕಸನಗೊಂಡಂತೆ ಮತ್ತು ಬದಲಾಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲಗಳು. ಇಂದು, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಘಟಕಗಳು ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆ.ಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ಮತ್ತುನಿಯಾನ್ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF 3) ಮತ್ತು ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (WF 6) ನಂತಹ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಜಾತಿಗಳಿಗೆ.

ಶುದ್ಧತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆ

ಮೊದಲ ವಾಣಿಜ್ಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ನ ಆವಿಷ್ಕಾರದಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವವು ಬೆರಗುಗೊಳಿಸುವ ಸಮೀಪ-ಘಾತೀಯ ಹೆಚ್ಚಳಕ್ಕೆ ಸಾಕ್ಷಿಯಾಗಿದೆ. ಕಳೆದ ಐದು ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಈ ರೀತಿಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸುಧಾರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಖಚಿತವಾದ ಮಾರ್ಗವೆಂದರೆ “ಗಾತ್ರದ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್”: ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಜಾಗಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ಹಿಂಡುವ ಸಲುವಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಹೊಸ ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಬಳಕೆಯು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿದೆ.

ಇಂದು, ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಆಯಾಮಗಳು ಈಗ ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದು, ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಗಾತ್ರದ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಮಾರ್ಗವಲ್ಲ. ಬದಲಿಗೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಂಶೋಧಕರು ಕಾದಂಬರಿ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು ಮತ್ತು 3D ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಹುಡುಕುತ್ತಿದ್ದಾರೆ.

ದಶಕಗಳ ದಣಿವರಿಯದ ಮರುವಿನ್ಯಾಸ ಎಂದರೆ ಇಂದಿನ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಾಧನಗಳು ಹಳೆಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಶಕ್ತಿಯುತವಾಗಿವೆ - ಆದರೆ ಅವು ಹೆಚ್ಚು ದುರ್ಬಲವಾಗಿರುತ್ತವೆ. 300 ಎಂಎಂ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಗಮನವು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ (ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅಪರೂಪದ ಅಥವಾ ಜಡ ಅನಿಲಗಳು) ಸಣ್ಣದೊಂದು ಮಾಲಿನ್ಯವು ದುರಂತದ ಉಪಕರಣಗಳ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು - ಆದ್ದರಿಂದ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯು ಹಿಂದೆಂದಿಗಿಂತಲೂ ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ಲಾಂಟ್‌ಗೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಈಗಾಗಲೇ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಂತರದ ದೊಡ್ಡ ವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಬೇಡಿಕೆಯು ಹೊಸ ಎತ್ತರಕ್ಕೆ ಏರುತ್ತಿದ್ದಂತೆ ಈ ವೆಚ್ಚಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗುವ ನಿರೀಕ್ಷೆಯಿದೆ. ಯುರೋಪ್ನಲ್ಲಿನ ಘಟನೆಗಳು ಉದ್ವಿಗ್ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಅನಿಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಅಡ್ಡಿ ಉಂಟುಮಾಡಿದೆ. ಉಕ್ರೇನ್ ವಿಶ್ವದ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಶುದ್ಧತೆಯ ರಫ್ತುದಾರರಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆನಿಯಾನ್ಚಿಹ್ನೆಗಳು; ರಷ್ಯಾದ ಆಕ್ರಮಣವು ಅಪರೂಪದ ಅನಿಲದ ಪೂರೈಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸುತ್ತಿದೆ ಎಂದರ್ಥ. ಇದು ಪ್ರತಿಯಾಗಿ ಕೊರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಲೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಯಿತುಕ್ರಿಪ್ಟಾನ್ಮತ್ತುಕ್ಸೆನಾನ್.