ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (ಯುಹೆಚ್‌ಪಿ) ಅನಿಲಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದ ಜೀವನಾಡಿಯಾಗಿದೆ. ಜಾಗತಿಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಗಳಿಗೆ ಅಭೂತಪೂರ್ವ ಬೇಡಿಕೆ ಮತ್ತು ಅಡೆತಡೆಗಳು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲದ ಬೆಲೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಿರುವುದರಿಂದ, ಹೊಸ ಅರೆವಾಹಕ ವಿನ್ಯಾಸ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಭ್ಯಾಸಗಳು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತಿವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಕರಿಗೆ, ಯುಹೆಚ್‌ಪಿ ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುವುದು ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ (ಯುಹೆಚ್‌ಪಿ) ಅನಿಲಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿವೆ

ಯುಹೆಚ್‌ಪಿ ಅನಿಲದ ಮುಖ್ಯ ಅನ್ವಯವೆಂದರೆ ಜಡತ್ವ: ಅರೆವಾಹಕ ಘಟಕಗಳ ಸುತ್ತ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಯುಹೆಚ್‌ಪಿ ಅನಿಲವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿನ ತೇವಾಂಶ, ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳ ಹಾನಿಕಾರಕ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಂದ ಅವುಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಜಡತ್ವವು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳು ನಿರ್ವಹಿಸುವ ಹಲವು ವಿಭಿನ್ನ ಕಾರ್ಯಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ಹಿಡಿದು ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಅನೆಲಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲಗಳವರೆಗೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹಲವು ವಿಭಿನ್ನ ಉದ್ದೇಶಗಳಿಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಪೂರೈಕೆ ಸರಪಳಿಯಾದ್ಯಂತ ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಕೆಲವು “ಕೋರ್” ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಾರಜನಕ(ಸಾಮಾನ್ಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ),ನಾರುಗ(ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ),ಹೀಲಿಯಂ(ವಿಶೇಷ ಶಾಖ-ವರ್ಗಾವಣೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ) ಮತ್ತುಜಲಜನಕ(ಅನೆಲಿಂಗ್, ಶೇಖರಣೆ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಅನೇಕ ಪಾತ್ರಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ).

ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ವಿಕಸನಗೊಂಡಂತೆ ಮತ್ತು ಬದಲಾದಂತೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇಂದು, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಸ್ಯಗಳು ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳಿಂದ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತವೆಕರಿಹೋಲಿಮತ್ತುತತ್ತ್ವಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪ್ರಭೇದಗಳಾದ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎನ್ಎಫ್ 3) ಮತ್ತು ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಡಬ್ಲ್ಯುಎಫ್ 6).

ಶುದ್ಧತೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿರುವ ಬೇಡಿಕೆ

ಮೊದಲ ವಾಣಿಜ್ಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ನ ಆವಿಷ್ಕಾರದಿಂದ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಪಂಚವು ಆಶ್ಚರ್ಯಕರವಾದ ವಿಸ್ತಾರವಾದ ಹೆಚ್ಚಳಕ್ಕೆ ಸಾಕ್ಷಿಯಾಗಿದೆ. ಕಳೆದ ಐದು ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ, ಈ ರೀತಿಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸುಧಾರಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಖಚಿತವಾದ ಮಾರ್ಗವೆಂದರೆ “ಗಾತ್ರದ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್” ಮೂಲಕ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಜಾಗಕ್ಕೆ ಹಿಂಡುವ ಸಲುವಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಚಿಪ್ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಆಯಾಮಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಹೊಸ ಚಿಪ್ ಆರ್ಕಿಟೆಕ್ಚರ್‌ಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಬಳಕೆಯು ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಲ್ಲಿ ಚಿಮ್ಮುವಿಕೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಿದೆ.

ಇಂದು, ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಆಯಾಮಗಳು ಈಗ ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಗಾತ್ರದ ಸ್ಕೇಲಿಂಗ್ ಇನ್ನು ಮುಂದೆ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಕಾರ್ಯಸಾಧ್ಯವಾದ ಮಾರ್ಗವಲ್ಲ. ಬದಲಾಗಿ, ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಶೋಧಕರು ಕಾದಂಬರಿ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು 3D ಚಿಪ್ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಗಳ ರೂಪದಲ್ಲಿ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಹುಡುಕುತ್ತಿದ್ದಾರೆ.

ದಶಕಗಳ ದಣಿವರಿಯದ ಮರುವಿನ್ಯಾಸ ಸರಾಸರಿ ಇಂದಿನ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು ಹಳೆಯ ಮೈಕ್ರೋಚಿಪ್‌ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಶಕ್ತಿಶಾಲಿಯಾಗಿದೆ - ಆದರೆ ಅವು ಹೆಚ್ಚು ದುರ್ಬಲವಾಗಿರುತ್ತವೆ. 300 ಎಂಎಂ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆಗಮನವು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಅಶುದ್ಧ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ (ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅಪರೂಪದ ಅಥವಾ ಜಡ ಅನಿಲಗಳು) ಸ್ವಲ್ಪ ಮಾಲಿನ್ಯವು ದುರಂತ ಸಲಕರಣೆಗಳ ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು - ಆದ್ದರಿಂದ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯು ಎಂದಿಗಿಂತಲೂ ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

ಒಂದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪ್ಲಾಂಟ್‌ಗಾಗಿ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ-ಪ್ಯುರಿಟಿ ಗ್ಯಾಸ್ ಈಗಾಗಲೇ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನಂತರ ಅತಿದೊಡ್ಡ ವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಬೇಡಿಕೆ ಹೊಸ ಎತ್ತರಕ್ಕೆ ಏರುವುದರಿಂದ ಈ ವೆಚ್ಚಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗುವ ನಿರೀಕ್ಷೆಯಿದೆ. ಯುರೋಪಿನ ಘಟನೆಗಳು ಉದ್ವಿಗ್ನ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಒತ್ತಡದ ನೈಸರ್ಗಿಕ ಅನಿಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗೆ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಅಡ್ಡಿ ಉಂಟುಮಾಡಿದೆ. ಉಕ್ರೇನ್ ವಿಶ್ವದ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ರಫ್ತುದಾರರಲ್ಲಿ ಒಬ್ಬರುತತ್ತ್ವಚಿಹ್ನೆಗಳು; ರಷ್ಯಾದ ಆಕ್ರಮಣ ಎಂದರೆ ಅಪರೂಪದ ಅನಿಲದ ಸರಬರಾಜುಗಳನ್ನು ನಿರ್ಬಂಧಿಸಲಾಗುತ್ತಿದೆ. ಇದು ಇತರ ಉದಾತ್ತ ಅನಿಲಗಳ ಕೊರತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಲೆಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಯಿತುಕರಿಹೋಲಿಮತ್ತುಪತಂಗ.