ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ (ಬೆಳವಣಿಗೆ)ಮಿಶ್ರಿತ GAs
ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿದ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಒಂದು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪದರಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಡಿಕ್ಲೋರೊಸಿಲೇನ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತುಹಳ್ಳದ ಹಳ್ಳ. ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸೌರ ಕೋಶಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ದ್ಯುತಿ ಗ್ರಾಹಕಗಳಿಗೆ ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ
ಸಿವಿಡಿ ಎನ್ನುವುದು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅನಿಲ ಹಂತದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಕೆಲವು ಅಂಶಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ, ಅಂದರೆ, ಅನಿಲ ಹಂತದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬಳಸುವ ಚಲನಚಿತ್ರ ರಚನೆ ವಿಧಾನ. ರೂಪುಗೊಂಡ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ, ಬಳಸಿದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಅನಿಲವೂ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಗೋಪುರಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ
ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಕೆಲವು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡಲಾಗಿದ್ದು, ಅಗತ್ಯವಾದ ವಾಹಕತೆಯ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರತಿರೋಧಕಗಳು, ಪಿಎನ್ ಜಂಕ್ಷನ್‌ಗಳು, ಸಮಾಧಿ ಪದರಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಡೋಪಿಂಗ್ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆರ್ಸಿನ್, ಫಾಸ್ಫೈನ್, ರಂಜಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ರಂಜಕ ಪೆಂಟಾಫ್ಲೋರೈಡ್, ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಪೆಂಟಾಫ್ಲೋರೈಡ್,ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಡಿಬೊರೇನ್, ಇಟಿಸಿ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಡೋಪಿಂಗ್ ಮೂಲವನ್ನು ಮೂಲ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್‌ನಲ್ಲಿ ವಾಹಕ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ (ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕದಂತಹ) ಬೆರೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಿಶ್ರಣ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಅನಿಲ ಹರಿವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗೆ ಚುಚ್ಚಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸುತ್ತುವರೆದಿದೆ, ಡೋಪಾಂಟ್‌ಗಳನ್ನು ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ನಂತರ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಿ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ವಲಸೆ ಹೋಗುವ ಡೋಪ್ಡ್ ಲೋಹಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.
ಎಚ್ಚಣೆಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣ
ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮರೆಮಾಚುವಿಕೆಯಿಲ್ಲದೆ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು (ಲೋಹದ ಫಿಲ್ಮ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್, ಇತ್ಯಾದಿ) ಕೆತ್ತನೆ ಮಾಡುವುದು, ಆ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮರೆಮಾಚುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಾದ ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಪಡೆಯುವುದು.
ಎಚ್ಚಣೆ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಸೇರಿವೆ. ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲ (ಹಾಲೈಡ್), ಉದಾಹರಣೆಗೆಇಂಗಾಲದ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ನವೆಂಬರ್ -22-2024
