ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ (ಬೆಳವಣಿಗೆ)ಮಿಶ್ರ ಗ್ಯಾs

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ, ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಆಯ್ಕೆಮಾಡಿದ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಯ ಮೂಲಕ ಒಂದು ಅಥವಾ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪದರಗಳ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಅನಿಲಗಳಲ್ಲಿ ಡೈಕ್ಲೋರೋಸಿಲೇನ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತುಸೈಲೇನ್. ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಸೌರ ಕೋಶಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ದ್ಯುತಿಗ್ರಾಹಕಗಳಿಗೆ ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಎನ್ನುವುದು ಒಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಒಂದೇ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುವನ್ನು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿ ಬೆಳೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ

ಸಿವಿಡಿ ಎಂದರೆ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅನಿಲ ಹಂತದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೂಲಕ ಕೆಲವು ಅಂಶಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ವಿಧಾನ, ಅಂದರೆ, ಅನಿಲ ಹಂತದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಫಿಲ್ಮ್ ರೂಪಿಸುವ ವಿಧಾನ. ರೂಪುಗೊಂಡ ಫಿಲ್ಮ್ ಪ್ರಕಾರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ, ಬಳಸುವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಅನಿಲವೂ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಡೋಪಿಂಗ್ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಕೆಲವು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿ ಡೋಪ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ವಾಹಕತೆಯ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆಯನ್ನು ರೆಸಿಸ್ಟರ್‌ಗಳು, ಪಿಎನ್ ಜಂಕ್ಷನ್‌ಗಳು, ಸಮಾಧಿ ಪದರಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಡೋಪಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಡೋಪಿಂಗ್ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆರ್ಸಿನ್, ಫಾಸ್ಫೈನ್, ಫಾಸ್ಫರಸ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಫಾಸ್ಫರಸ್ ಪೆಂಟಾಫ್ಲೋರೈಡ್, ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಪೆಂಟಾಫ್ಲೋರೈಡ್,ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಡೈಬೊರೇನ್, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಡೋಪಿಂಗ್ ಮೂಲವನ್ನು ಮೂಲ ಕ್ಯಾಬಿನೆಟ್‌ನಲ್ಲಿ ವಾಹಕ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ (ಆರ್ಗಾನ್ ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕದಂತಹ) ಬೆರೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮಿಶ್ರಣ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಅನಿಲ ಹರಿವನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಯೊಳಗೆ ಇಂಜೆಕ್ಟ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಸುತ್ತುವರೆದಿರುತ್ತದೆ, ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಡೋಪಂಟ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಿ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗೆ ವಲಸೆ ಹೋಗುವ ಡೋಪ್ಡ್ ಲೋಹಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

ಎಚ್ಚಣೆಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣ

ಎಚ್ಚಣೆ ಎಂದರೆ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು (ಲೋಹದ ಪದರ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರ, ಇತ್ಯಾದಿ) ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮರೆಮಾಚುವಿಕೆ ಇಲ್ಲದೆ ಕೆತ್ತುವುದು, ಆದರೆ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮರೆಮಾಚುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂರಕ್ಷಿಸುವುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಇಮೇಜಿಂಗ್ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

ಎಚ್ಚಣೆ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಆರ್ದ್ರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ಸೇರಿವೆ. ಒಣ ರಾಸಾಯನಿಕ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಅನಿಲವನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲ (ಹಾಲೈಡ್), ಉದಾಹರಣೆಗೆಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್, ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್, ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್, ಪರ್ಫ್ಲೋರೋಪ್ರೊಪೇನ್, ಇತ್ಯಾದಿ.