ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಬಣ್ಣವಿಲ್ಲದ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು, ಕಟುವಾದ ವಾಸನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜಲೀಯ ದ್ರಾವಣವನ್ನು ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಹೈಡ್ರೋಕ್ಲೋರಿಕ್ ಆಮ್ಲ ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ನೀರಿನಲ್ಲಿ ಬಹಳ ಕರಗುತ್ತದೆ. 0°C ನಲ್ಲಿ, 1 ಪರಿಮಾಣದ ನೀರು ಸುಮಾರು 500 ಪರಿಮಾಣದ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಕರಗಿಸುತ್ತದೆ.

ಇದು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:

1. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಶುದ್ಧತೆಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ppm ಅಥವಾ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಬಹಳ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.

2. ಜಡತ್ವ

ಇದು ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡ ಅನಿಲವಾಗಿದ್ದು, ಇತರ ಅನೇಕ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಬಹಳ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ.

3. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಿರತೆ

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಥಿರ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು:

1. ಮೇಲ್ಮೈ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಯಾರಿಕೆ

ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಕ್ಲೀನರ್ ಆಗಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರ ಅಥವಾ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2.ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ನೆರವು

ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಮತ್ತು ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ದೋಷಗಳ ರಚನೆಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

3. ತಲಾಧಾರದ ಪೂರ್ವಭಾವಿ ಚಿಕಿತ್ಸೆ

ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸುವ ಮೊದಲು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸ್ಥಿರವಾದ ಬೇಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ನೀಡಲು ಬಳಸಬಹುದು.

4. ಠೇವಣಿ ಸಹಾಯಕ ಏಜೆಂಟ್

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಅಥವಾ ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (PVD) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಶೇಖರಣಾ ಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಭಾಗವಹಿಸಲು ಅನಿಲ ಹಂತ ವರ್ಗಾವಣೆ ಮಾಧ್ಯಮವಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು.

5. ಅನಿಲ-ಹಂತ ವರ್ಗಾವಣೆ ಏಜೆಂಟ್

ಅನಿಲ-ಹಂತ ವರ್ಗಾವಣೆ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ, ವಸ್ತುವಿನ ಶೇಖರಣಾ ದರ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡಲು ಇತರ ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯೊಳಗೆ ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಏಜೆಂಟ್, ಇದು ಅಂತಿಮ ಸಾಧನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯ ಮೇಲೆ ಪ್ರಮುಖ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಇದರ ಬಳಕೆಯ ಜೊತೆಗೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಯ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ಇತರ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಉಪಯೋಗಗಳನ್ನು ಕಾಣಬಹುದು, ಅವುಗಳೆಂದರೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುಗಳ ತಯಾರಿಕೆ, ಇಂಧನ ಕೋಶಗಳು, ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆ, ಆವಿ ಹಂತದ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ, ವಸ್ತು ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಸಂಶೋಧನೆ.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ದರ್ಜೆಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಕ್ಲೋರೈಡ್ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಹೊರತಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಬಹುಮುಖ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ.