ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸುಧಾರಿತ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ ಫೌಂಡರಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸುಮಾರು 50 ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಅನಿಲಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತುವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು.

ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಅನ್ವಯವು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆಯು ಯಾವಾಗಲೂ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉಲ್ಸಿ, ಟಿಎಫ್‌ಟಿ-ಎಲ್‌ಸಿಡಿಯಿಂದ ಪ್ರಸ್ತುತ ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ (ಎಂಇಎಂಎಸ್) ಉದ್ಯಮದವರೆಗೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಉತ್ಪನ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಅಯಾನು ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್, ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಚಿಪ್ಸ್ ಮರಳಿನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಎಂದು ಅನೇಕ ಜನರಿಗೆ ತಿಳಿದಿದೆ, ಆದರೆ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನೋಡಿದರೆ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್, ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ದ್ರವ, ಗುರಿ ವಸ್ತು, ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಸ್ತುಗಳು ಅಗತ್ಯವಾಗಿವೆ. ಬ್ಯಾಕ್-ಎಂಡ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ಗೆ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ತಲಾಧಾರಗಳು, ಇಂಟರ್ಪೋಸರ್‌ಗಳು, ಸೀಸದ ಚೌಕಟ್ಟುಗಳು, ಬಂಧದ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಯ ನಂತರ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚದಲ್ಲಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಎರಡನೇ ಅತಿದೊಡ್ಡ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ, ನಂತರ ಮುಖವಾಡಗಳು ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕಗಳು.

ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯು ಘಟಕ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಇಳುವರಿಯ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆಯು ಸಿಬ್ಬಂದಿಗಳ ಆರೋಗ್ಯ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಖಾನೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ. ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ರೇಖೆ ಮತ್ತು ಸಿಬ್ಬಂದಿಗಳ ಮೇಲೆ ಏಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ? ಇದು ಉತ್ಪ್ರೇಕ್ಷೆಯಲ್ಲ, ಆದರೆ ಅನಿಲದ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದ ಇದನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲಗಳ ವರ್ಗೀಕರಣ

ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲ

ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲವನ್ನು ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ: ಇದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲವನ್ನು 5n ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ವಿಭಿನ್ನ ತಯಾರಿ ವಿಧಾನಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಇದನ್ನು ಗಾಳಿ ಬೇರ್ಪಡಿಸುವ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಸಂಶ್ಲೇಷಿತ ಅನಿಲ ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (ಎಚ್ 2), ಸಾರಜನಕ (ಎನ್ 2), ಆಮ್ಲಜನಕ (ಒ 2), ಆರ್ಗಾನ್ (ಎ 2), ಇತ್ಯಾದಿ;

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆ, ವೈವಿಧ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಮುಖ್ಯವಾಗಿಸಿಹೆಚ್ 4, PH3, B2H6, A8H3,ಎಚ್‌ಸಿಎಲ್, ಸಿಎಫ್ 4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,ಎಸ್‌ಎಫ್ 6… ಮತ್ತು ಹೀಗೆ.

ಸ್ಪಿಯನಲ್ ಅನಿಲಗಳ ವಿಧಗಳು

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ವಿಧಗಳು: ನಾಶಕಾರಿ, ವಿಷಕಾರಿ, ಸುಡುವ, ದಹನ-ಬೆಂಬಲ, ಜಡ, ಇಟಿಸಿ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ:
(i) ನಾಶಕಾರಿ/ವಿಷಕಾರಿ:ಎಚ್‌ಸಿಎಲ್、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2Cl2 、 NH3 、 PH3 、 Cl2Bcl3…
(ii) ಸುಡುವ: ಎಚ್ 2 、CH4、ಸಿಹೆಚ್ 4、 PH3 、 ISH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) ದಹನಕಾರಿ: O2 、 Cl2 、 n2o 、 nf3…
(iv) ಜಡ: n2ಸಿಎಫ್ 4、 C2F6ಸಿ 4 ಎಫ್ 8、ಎಸ್‌ಎಫ್ 6、 CO2Ne、Kr、 ಅವನು…

ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಪ್ರಸರಣ, ಶೇಖರಣೆ, ಎಚ್ಚಣೆ, ಇಂಜೆಕ್ಷನ್, ಫೋಟೊಲಿಥೊಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸುಮಾರು 50 ವಿಭಿನ್ನ ರೀತಿಯ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳನ್ನು (ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ) ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಒಟ್ಟು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತಗಳು ನೂರಾರು ಮೀರಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪಿಹೆಚ್ 3 ಮತ್ತು ಆಶ್ 3 ಅನ್ನು ರಂಜಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಮೂಲಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಎಫ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳಾದ ಸಿಎಫ್ 4, ಸಿಎಚ್‌ಎಫ್ 3, ಎಸ್‌ಎಫ್ 6 ಮತ್ತು ಹ್ಯಾಲೊಜೆನ್ ಅನಿಲಗಳು ಸಿಐ 2, ಬಿಸಿಐ 3, ಎಚ್‌ಬಿಆರ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಎಸ್‌ಐಹೆಚ್ 4, ಎನ್‌ಎಚ್ 3, ಎನ್ 2 ಒ ಶೇಖರಣೆ ಚಲನಚಿತ್ರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಎಫ್ 2/ನೆ, ಎನ್ 2 ಒ.

ಮೇಲಿನ ಅಂಶಗಳಿಂದ, ಅನೇಕ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳು ಮಾನವ ದೇಹಕ್ಕೆ ಹಾನಿಕಾರಕವೆಂದು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಎಸ್‌ಐಹೆಚ್ 4 ನಂತಹ ಕೆಲವು ಅನಿಲಗಳು ಸ್ವಯಂ-ಗುರಿಯಾಗುತ್ತವೆ. ಅವರು ಸೋರಿಕೆಯಾಗುವವರೆಗೂ, ಅವರು ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ ಹಿಂಸಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸುಡಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುತ್ತಾರೆ; ಮತ್ತು ಆಶ್ 3 ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಸ್ವಲ್ಪ ಸೋರಿಕೆ ಜನರ ಜೀವನಕ್ಕೆ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸದ ಸುರಕ್ಷತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿವೆ.

ಅರೆವಾಹಕಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು “ಮೂರು ಡಿಗ್ರಿ” ಹೊಂದಿರಬೇಕು

ಅನಿಲ ಪರಿಶುದ್ಧತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಅಶುದ್ಧ ವಾತಾವರಣದ ವಿಷಯವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 99.9999%ನಂತಹ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಶೇಕಡಾವಾರು ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಯು 5n-6n ಅನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅಶುದ್ಧ ವಾತಾವರಣದ ವಿಷಯ ಪಿಪಿಎಂ (ಪ್ರತಿ ಮಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಭಾಗ), ಪಿಪಿಬಿ (ಪ್ರತಿ ಬಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಭಾಗ), ಮತ್ತು ಪಿಪಿಟಿ (ಪ್ರತಿ ಟ್ರಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಒಂದು ಭಾಗ) ದ ಪರಿಮಾಣ ಅನುಪಾತದಿಂದಲೂ ವ್ಯಕ್ತವಾಗುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಷೇತ್ರವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 6 ​​ಎನ್ ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ.

ಶುಷ್ಕತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಜಾಡಿನ ನೀರಿನ ವಿಷಯ, ಅಥವಾ ತೇವವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಡ್ಯೂ ಪಾಯಿಂಟ್‌ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವಾತಾವರಣದ ಇಬ್ಬನಿ ಪಾಯಿಂಟ್ -70.

ಸ್ವಚ್linessತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಕಣಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ, µm ನ ಕಣದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕಣಗಳು, ಎಷ್ಟು ಕಣಗಳು/m3 ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತವಾಗುತ್ತವೆ. ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಗಾಗಿ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅನಿವಾರ್ಯವಾದ ಘನ ಉಳಿಕೆಗಳ Mg/m3 ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ತೈಲ ಅಂಶವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.