ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಮುಂದುವರಿದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್ ಫೌಂಡರಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸುಮಾರು 50 ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ಅನಿಲಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ. ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೃಹತ್ ಅನಿಲಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತುವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು.

ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆಯು ಯಾವಾಗಲೂ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ವಿವಿಧ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ULSI, TFT-LCD ಯಿಂದ ಪ್ರಸ್ತುತ ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಮೆಕಾನಿಕಲ್ (MEMS) ಉದ್ಯಮದವರೆಗೆ, ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್, ಥಿನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಠೇವಣಿ ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಉತ್ಪನ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಚಿಪ್ಸ್ ಮರಳಿನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ ಎಂದು ಅನೇಕ ಜನರಿಗೆ ತಿಳಿದಿದೆ, ಆದರೆ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಸಂಪೂರ್ಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ನೋಡುವಾಗ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್, ಪಾಲಿಶ್ ಮಾಡುವ ದ್ರವ, ಗುರಿ ವಸ್ತು, ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ವಸ್ತುಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಬ್ಯಾಕ್-ಎಂಡ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ಗೆ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್‌ಗಳು, ಇಂಟರ್‌ಪೋಸರ್‌ಗಳು, ಸೀಸದ ಚೌಕಟ್ಟುಗಳು, ಬಾಂಡಿಂಗ್ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿ ವಿವಿಧ ವಸ್ತುಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಇಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ನಂತರ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚದಲ್ಲಿ ಎರಡನೇ ಅತಿದೊಡ್ಡ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ, ನಂತರ ಮುಖವಾಡಗಳು ಮತ್ತು ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ಗಳು.

ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯು ಘಟಕಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನದ ಇಳುವರಿ ಮೇಲೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಪೂರೈಕೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆಯು ಸಿಬ್ಬಂದಿಯ ಆರೋಗ್ಯ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಖಾನೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸುರಕ್ಷತೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದೆ. ಅನಿಲದ ಶುದ್ಧತೆಯು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ರೇಖೆ ಮತ್ತು ಸಿಬ್ಬಂದಿಗಳ ಮೇಲೆ ಏಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಭಾವ ಬೀರುತ್ತದೆ? ಇದು ಉತ್ಪ್ರೇಕ್ಷೆಯಲ್ಲ, ಆದರೆ ಅನಿಲದ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲಗಳ ವರ್ಗೀಕರಣ

ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲ

ಸಾಮಾನ್ಯ ಅನಿಲವನ್ನು ಬೃಹತ್ ಅನಿಲ ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ: ಇದು 5N ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಗತ್ಯತೆ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮಾರಾಟದ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ವಿವಿಧ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಧಾನಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಇದನ್ನು ಗಾಳಿಯನ್ನು ಬೇರ್ಪಡಿಸುವ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಸಂಶ್ಲೇಷಿತ ಅನಿಲಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು. ಹೈಡ್ರೋಜನ್ (H2), ಸಾರಜನಕ (N2), ಆಮ್ಲಜನಕ (O2), ಆರ್ಗಾನ್ (A2), ಇತ್ಯಾದಿ;

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲವು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆ, ವೈವಿಧ್ಯತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಮುಖ್ಯವಾಗಿSiH4, PH3, B2H6, A8H3,ಹೆಚ್.ಸಿ.ಎಲ್, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… ಮತ್ತು ಹೀಗೆ.

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ವಿಧಗಳು

ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ವಿಧಗಳು: ನಾಶಕಾರಿ, ವಿಷಕಾರಿ, ಸುಡುವ, ದಹನ-ಪೋಷಕ, ಜಡ, ಇತ್ಯಾದಿ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ:
(i) ನಾಶಕಾರಿ/ವಿಷಕಾರಿ:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) ಸುಡುವ: H2,CH4,SiH4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) ದಹನಕಾರಿ: O2,Cl2,N2O,NF3...
(iv) ಜಡ: N2,CF4C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr, ಅವನು ...

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚಿಪ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಪ್ರಸರಣ, ಶೇಖರಣೆ, ಎಚ್ಚಣೆ, ಇಂಜೆಕ್ಷನ್, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸುಮಾರು 50 ವಿವಿಧ ರೀತಿಯ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳನ್ನು (ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳು ಎಂದು ಉಲ್ಲೇಖಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ) ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಟ್ಟು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತಗಳು ನೂರಾರು ಮೀರಿದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ PH3 ಮತ್ತು AsH3 ರಂಜಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಸೆನಿಕ್ ಮೂಲಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, F- ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು CF4, CHF3, SF6 ಮತ್ತು ಹ್ಯಾಲೊಜೆನ್ ಅನಿಲಗಳು CI2, BCI3, HBr ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, SiH4, NH3, N2O ರಲ್ಲಿ ಡಿಪಾಸಿಷನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ F2/Kr/Ne, Kr/Ne.

ಮೇಲಿನ ಅಂಶಗಳಿಂದ, ಅನೇಕ ಅರೆವಾಹಕ ಅನಿಲಗಳು ಮಾನವ ದೇಹಕ್ಕೆ ಹಾನಿಕಾರಕವೆಂದು ನಾವು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು. ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, SiH4 ನಂತಹ ಕೆಲವು ಅನಿಲಗಳು ಸ್ವಯಂ ದಹನಕಾರಿ. ಅವರು ಸೋರಿಕೆಯಾಗುವವರೆಗೂ, ಅವರು ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕದೊಂದಿಗೆ ಹಿಂಸಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸುಡಲು ಪ್ರಾರಂಭಿಸುತ್ತಾರೆ; ಮತ್ತು AsH3 ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿದೆ. ಯಾವುದೇ ಸ್ವಲ್ಪ ಸೋರಿಕೆಯು ಜನರ ಜೀವನಕ್ಕೆ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸದ ಸುರಕ್ಷತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿರುತ್ತವೆ.

ಅರೆವಾಹಕಗಳಿಗೆ "ಮೂರು ಡಿಗ್ರಿ" ಹೊಂದಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅನಿಲಗಳು ಬೇಕಾಗುತ್ತವೆ

ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ವಾತಾವರಣದ ವಿಷಯವನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಶೇಕಡಾವಾರು ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ 99.9999%. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಗತ್ಯವು 5N-6N ಅನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಶುದ್ಧ ವಾತಾವರಣದ ವಿಷಯ ppm (ಪಾರ್ಟ್‌ಪರ್ ಮಿಲಿಯನ್), ppb (ಭಾಗಕ್ಕೆ ಪ್ರತಿ ಶತಕೋಟಿ), ಮತ್ತು ppt (ಪ್ರತಿ ಟ್ರಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಭಾಗ) ಪರಿಮಾಣದ ಅನುಪಾತದಿಂದ ಕೂಡ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಷೇತ್ರವು ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟದ ಸ್ಥಿರತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಶುದ್ಧತೆಯು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 6N ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಶುಷ್ಕತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಜಾಡಿನ ನೀರಿನ ಅಂಶ ಅಥವಾ ಆರ್ದ್ರತೆಯನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದುವಿನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವಾತಾವರಣದ ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು -70℃.

ಸ್ವಚ್ಛತೆ

ಅನಿಲದಲ್ಲಿನ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕ ಕಣಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ, µm ನ ಕಣದ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಕಣಗಳು, ಎಷ್ಟು ಕಣಗಳು/M3 ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಗಾಗಿ, ಇದು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತಪ್ಪಿಸಲಾಗದ ಘನ ಅವಶೇಷಗಳ mg/m3 ನಲ್ಲಿ ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ತೈಲ ಅಂಶವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ.