ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲದ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣ - ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಎನ್ಎಫ್ 3

ನಮ್ಮ ದೇಶದ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ಫಲಕ ಉದ್ಯಮವು ಉನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಸಮೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಫಲಕಗಳು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಮತ್ತು ಅತಿದೊಡ್ಡ-ಪರಿಮಾಣದ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲವಾಗಿ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವಿಶಾಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಲ್ಫರ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎಸ್‌ಎಫ್ 6), ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಡಬ್ಲ್ಯುಎಫ್ 6),ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಸಿಎಫ್ 4). ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎನ್ಎಫ್ 3) ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್-ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಹೈ-ಎನರ್ಜಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಲೇಸರ್‌ಗಳಿಗೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮೂಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. H2-O2 ಮತ್ತು F2 ನಡುವಿನ ಕ್ರಿಯೆಯ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಭಾಗವನ್ನು (ಸುಮಾರು 25%) ಲೇಸರ್ ವಿಕಿರಣದಿಂದ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ HF- ಆಫ್ ಲೇಸರ್‌ಗಳು ರಾಸಾಯನಿಕ ಲೇಸರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಭರವಸೆಯ ಲೇಸರ್‌ಗಳಾಗಿವೆ.

ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರೊನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಅನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಲು, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕದ ಮಿಶ್ರಣಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿಲ್ಲ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ 1.5um ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ದಪ್ಪವಿರುವ ಸಂಯೋಜಿತ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅತ್ಯಂತ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ದತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶೇಷವನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿದೆ. ನ್ಯಾನೊತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅದರ ಬೇಡಿಕೆ ದಿನದಿಂದ ದಿನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.

ಒಂದು ರೀತಿಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲವಾಗಿ, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎನ್ಎಫ್ 3) ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿದೆ, ಆಮ್ಲಜನಕಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿದೆ, ಫ್ಲೋರಿನ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ.

ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ಸ್, ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಪ್ರದರ್ಶನಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫೈಬರ್ಗಳು, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶಗಳು, ಮುಂತಾದ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಇತರ ಫ್ಲೋರಿನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವೇಗದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ವಸ್ತುಗಳಾದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ದತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ದತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ, ಎಚ್ಚಣೆ ಹಾಕುವ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಅವಶೇಷಗಳನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ, ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸ್ವಚ್ cleaning ಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು, ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸ್ವಚ್ clean ಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ cleaning ಗೊಳಿಸುವ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ cleaning ಗೊಳಿಸುವ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸ್ವಚ್ cleaning ಗೊಳಿಸುವ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ.