ನಮ್ಮ ದೇಶದ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾನಲ್ ಉದ್ಯಮವು ಉನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಸಮೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಕಾಯ್ದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾನಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಮತ್ತು ಅತಿದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲವಾಗಿ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವಿಶಾಲವಾದ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಲ್ಫರ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (SF6), ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (WF6),ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (CF4), ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (CHF3), ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3), ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (C2F6) ಮತ್ತು ಆಕ್ಟಾಫ್ಲೋರೋಪ್ರೊಪೇನ್ (C3F8). ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3) ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್-ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನಿಲ ಅಧಿಕ-ಶಕ್ತಿಯ ರಾಸಾಯನಿಕ ಲೇಸರ್‌ಗಳಿಗೆ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಮೂಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. H2-O2 ಮತ್ತು F2 ನಡುವಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಭಾಗವನ್ನು (ಸುಮಾರು 25%) ಲೇಸರ್ ವಿಕಿರಣದಿಂದ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಬಹುದು, ಆದ್ದರಿಂದ HF-OF ಲೇಸರ್‌ಗಳು ರಾಸಾಯನಿಕ ಲೇಸರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಭರವಸೆಯ ಲೇಸರ್‌ಗಳಾಗಿವೆ.
ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವಾಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಅನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಲು, ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕದ ಮಿಶ್ರಣಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿಲ್ಲ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ 1.5um ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ದಪ್ಪವಿರುವ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಿದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶೇಷವನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ ಮತ್ತು ಇದು ಉತ್ತಮ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿದೆ. ನ್ಯಾನೊತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರಮಾಣದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅದರ ಬೇಡಿಕೆ ದಿನದಿಂದ ದಿನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ.
ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲದ ವಿಧವಾಗಿ, ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3) ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ಅತಿದೊಡ್ಡ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆಮ್ಲಜನಕಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಫ್ಲೋರಿನ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ.
ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ಸ್, ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫೈಬರ್ಗಳು, ಫೋಟೊವೋಲ್ಟಾಯಿಕ್ ಕೋಶಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಇತರ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವೇಗದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಸ್ತುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಿದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶೇಷವನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ, ಮತ್ತು ಇದು ಉತ್ತಮ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಇದು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕವಲ್ಲ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-26-2024
