ಹೆಚ್ಚು ಬಳಸಿದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ - ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್

ಸಾಮಾನ್ಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಲ್ಫರ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎಸ್‌ಎಫ್ 6), ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಡಬ್ಲ್ಯುಎಫ್ 6),ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಸಿಎಫ್ 4).

ನ್ಯಾನೊತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅದರ ಬೇಡಿಕೆ ದಿನದಿಂದ ದಿನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಫಲಕಗಳು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಮತ್ತು ಅತಿದೊಡ್ಡ-ಬಳಸುವ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲವಾಗಿ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವಿಶಾಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಒಂದು ರೀತಿಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲವಾಗಿ,ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎನ್ಎಫ್ 3)ಅತಿದೊಡ್ಡ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿದೆ, ಫ್ಲೋರಿನ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ. ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ಸ್, ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಪ್ರದರ್ಶನಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫೈಬರ್ಗಳು, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಇತರ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ,ಸಾರಜನಕದವೇಗದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ವಸ್ತುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ದತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಕೆತ್ತಿದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶೇಷವನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ. ಇದು ಉತ್ತಮ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿಲ್ಲ, ಇದು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.