ಹೆಚ್ಚು ಬಳಸುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ - ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್

ಸಾಮಾನ್ಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಸೇರಿವೆಸಲ್ಫರ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (SF6), ಟಂಗ್‌ಸ್ಟನ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (WF6),ಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (CF4), ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (CHF3), ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3), ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (C2F6) ಮತ್ತು ಆಕ್ಟಾಫ್ಲೋರೋಪ್ರೊಪೇನ್ (C3F8).

ನ್ಯಾನೊತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಅದರ ಬೇಡಿಕೆ ದಿನದಿಂದ ದಿನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ಯಾನಲ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಲ್ಲಿ ಅನಿವಾರ್ಯ ಮತ್ತು ಅತಿ ದೊಡ್ಡ-ಬಳಕೆಯ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲವಾಗಿ ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ವಿಶಾಲವಾದ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸ್ಥಳವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲದ ಪ್ರಕಾರವಾಗಿ,ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3)ಅತಿದೊಡ್ಡ ಮಾರುಕಟ್ಟೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ವಿಶೇಷ ಅನಿಲ ಉತ್ಪನ್ನವಾಗಿದೆ. ಇದು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಜಡವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಆಮ್ಲಜನಕಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಫ್ಲೋರಿನ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ. ನೈಟ್ರೋಜನ್ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಿಂಗ್ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಚಿಪ್ಸ್, ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇಗಳು, ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಫೈಬರ್‌ಗಳು, ಫೋಟೊವೋಲ್ಟಾಯಿಕ್ ಕೋಶಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಇತರ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ,ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ವೇಗದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್-ಒಳಗೊಂಡಿರುವ ವಸ್ತುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದ್ದು, ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಿದ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಶೇಷವನ್ನು ಬಿಡುವುದಿಲ್ಲ. ಇದು ಉತ್ತಮ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್ ಆಗಿದ್ದು, ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಯಾವುದೇ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಇದು ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.