ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳುವಿಶೇಷ ಅನಿಲಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಶಾಖೆಯಾಗಿದೆ. ಅವು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಬಹುತೇಕ ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಕೊಂಡಿಯನ್ನೂ ಭೇದಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಲಾರ್ಜ್-ಸ್ಕೇಲ್ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು, ಫ್ಲಾಟ್ ಪ್ಯಾನಲ್ ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸೌರ ಕೋಶಗಳಂತಹ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಅನಿವಾರ್ಯ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಜಾಗತಿಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ, ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಒಟ್ಟು 30% ರಷ್ಟಿದೆ. ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಮಾಹಿತಿ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲಗಳ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಎಚಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್‌ಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡೋಪಂಟ್‌ಗಳು, ಫಿಲ್ಮ್-ರೂಪಿಸುವ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಾಗಿಯೂ ಬಳಸಬಹುದು. ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ಲೇಖಕರು ಸಾಮಾನ್ಯ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಕರೆದೊಯ್ಯುತ್ತಾರೆ.

ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3): ನಿಕ್ಷೇಪಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಮತ್ತು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸುವ ಅನಿಲ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಲ್ಫರ್ ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (SF6): ಆಕ್ಸೈಡ್ ಶೇಖರಣಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ನಿರೋಧಕ ಮಾಧ್ಯಮವನ್ನು ತುಂಬಲು ನಿರೋಧಕ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಫ್ಲೋರಿನೇಟಿಂಗ್ ಏಜೆಂಟ್.

ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ (HF): ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಿಂದ ಆಕ್ಸೈಡ್‌ಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಇತರ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಲು ಎಚ್ಚಣೆಕಾರಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಾರಜನಕ ಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF): ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (SiN) ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (AlN) ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (CHF3) ಮತ್ತುಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (CF4): ಸಿಲಿಕಾನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ನಂತಹ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕೆತ್ತಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಆದಾಗ್ಯೂ, ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳು ವಿಷತ್ವ, ಸವೆತ ಮತ್ತು ದಹನಶೀಲತೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಕೆಲವು ಅಪಾಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.

ವಿಷತ್ವ

ಕೆಲವು ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿರುತ್ತವೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ (HF), ಇದರ ಆವಿ ಚರ್ಮ ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚು ಕಿರಿಕಿರಿಯನ್ನುಂಟು ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಮಾನವನ ಆರೋಗ್ಯಕ್ಕೆ ಹಾನಿಕಾರಕವಾಗಿದೆ.

ನಾಶಕಾರಿತ್ವ

ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಫ್ಲೋರೈಡ್ ಮತ್ತು ಕೆಲವು ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳು ಹೆಚ್ಚು ನಾಶಕಾರಿಯಾಗಿದ್ದು ಚರ್ಮ, ಕಣ್ಣುಗಳು ಮತ್ತು ಉಸಿರಾಟದ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ಗಂಭೀರ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ.

ಸುಡುವಿಕೆ

ಕೆಲವು ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳು ಸುಡುವಂತಹವುಗಳಾಗಿದ್ದು, ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿರುವ ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ನೀರಿನೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸಿ ತೀವ್ರವಾದ ಶಾಖ ಮತ್ತು ವಿಷಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ಇದು ಬೆಂಕಿ ಅಥವಾ ಸ್ಫೋಟಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

ಅಧಿಕ ಒತ್ತಡದ ಅಪಾಯ

ಕೆಲವು ಫ್ಲೋರಿನೇಟೆಡ್ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಸ್ಫೋಟಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಬಳಸುವಾಗ ಮತ್ತು ಸಂಗ್ರಹಿಸುವಾಗ ವಿಶೇಷ ಕಾಳಜಿಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ.

ಪರಿಸರದ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ

ಫ್ಲೋರಿನ್ ಹೊಂದಿರುವ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ವಾತಾವರಣದ ಜೀವಿತಾವಧಿ ಮತ್ತು GWP ಮೌಲ್ಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಇದು ವಾತಾವರಣದ ಓಝೋನ್ ಪದರದ ಮೇಲೆ ವಿನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಜಾಗತಿಕ ತಾಪಮಾನ ಏರಿಕೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಮಾಲಿನ್ಯಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಂತಹ ಉದಯೋನ್ಮುಖ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲಗಳ ಅನ್ವಯವು ಆಳವಾಗುತ್ತಲೇ ಇದೆ, ಇದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೊಸ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ತರುತ್ತದೆ. ಮುಂದಿನ ಕೆಲವು ವರ್ಷಗಳಲ್ಲಿ ಚೀನಾದ ಮುಖ್ಯ ಭೂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಡಿಸ್ಪ್ಲೇ ಪ್ಯಾನೆಲ್‌ಗಳಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಹೊಸ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ರಾಸಾಯನಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಆಮದು ಪರ್ಯಾಯಕ್ಕೆ ಬಲವಾದ ಬೇಡಿಕೆಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ದೇಶೀಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಅನಿಲ ಉದ್ಯಮವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರವನ್ನು ತರುತ್ತದೆ.