ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳು ಯಾವುವು?

ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಅನಿಲ ಮೂಲವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

ಫ್ಲೋರಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಉದಾಹರಣೆಗೆಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಸಿಎಫ್ 4). ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವಾಗ ಈ ಅನಿಲಗಳು ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು.

ಕ್ಲೋರಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಕ್ಲೋರಿನ್ (ಸಿಎಲ್ 2),ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಕ್ಲೋರೈಡ್ (bcl3)ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ (ಸಿಕ್ಎಲ್ 4). ಕ್ಲೋರಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಲ್ಲವು, ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಗಳನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಬ್ರೋಮಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಬ್ರೋಮಿನ್ (ಬಿಆರ್ 2) ಮತ್ತು ಬ್ರೋಮಿನ್ ಅಯೋಡೈಡ್ (ಐಬಿಆರ್) ನಂತಹ. ಬ್ರೋಮಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು ಕೆಲವು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಎಚ್ಚಣೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಂತಹ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕೆತ್ತಿದಾಗ.

ಸಾರಜನಕ ಆಧಾರಿತ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (ಎನ್ಎಫ್ 3) ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ (ಒ 2) ನಂತಹ. ಈ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಈ ಅನಿಲಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೌತಿಕ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಮೂಲಕ ವಸ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಯ ನಿಖರವಾದ ಎಚ್ಚಣೆ ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲದ ಆಯ್ಕೆಯು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಬೇಕಾದ ವಸ್ತುಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಎಚ್ಚಣೆಯ ಆಯ್ದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಎಚ್ಚಣೆ ದರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.