ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳು ಯಾವುವು?

ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲವು ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಅನಿಲ ಮೂಲವಾಗಿದೆ. ಇದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯು ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನದ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಡ್ರೈ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲಗಳು ಯಾವುವು ಎಂಬುದನ್ನು ಹಂಚಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

ಫ್ಲೋರಿನ್ ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಉದಾಹರಣೆಗೆಕಾರ್ಬನ್ ಟೆಟ್ರಾಫ್ಲೋರೈಡ್ (CF4), ಹೆಕ್ಸಾಫ್ಲೋರೋಥೇನ್ (C2F6), ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೋಮೀಥೇನ್ (CHF3) ಮತ್ತು ಪರ್ಫ್ಲೋರೋಪ್ರೊಪೇನ್ (C3F8). ಈ ಅನಿಲಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವಾಗ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಫ್ಲೋರೈಡ್‌ಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ವಸ್ತು ತೆಗೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದು.

ಕ್ಲೋರಿನ್-ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಕ್ಲೋರಿನ್ (Cl2),ಬೋರಾನ್ ಟ್ರೈಕ್ಲೋರೈಡ್ (BCl3)ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಟೆಟ್ರಾಕ್ಲೋರೈಡ್ (SiCl4). ಕ್ಲೋರಿನ್-ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಕ್ಲೋರೈಡ್ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು, ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಬ್ರೋಮಿನ್-ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಬ್ರೋಮಿನ್ (Br2) ಮತ್ತು ಬ್ರೋಮಿನ್ ಅಯೋಡೈಡ್ (IBr). ಬ್ರೋಮಿನ್-ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು ಕೆಲವು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಎಚ್ಚಣೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನಂತಹ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡುವಾಗ.

ಸಾರಜನಕ-ಆಧಾರಿತ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ-ಆಧಾರಿತ ಅನಿಲಗಳು: ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಸಾರಜನಕ ಟ್ರೈಫ್ಲೋರೈಡ್ (NF3) ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ (O2). ಈ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆಯ ಆಯ್ಕೆ ಮತ್ತು ದಿಕ್ಕನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಈ ಅನಿಲಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೌತಿಕ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಮೂಲಕ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈಯ ನಿಖರವಾದ ಎಚ್ಚಣೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸುತ್ತವೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲದ ಆಯ್ಕೆಯು ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಬೇಕಾದ ವಸ್ತುವಿನ ಪ್ರಕಾರ, ಎಚ್ಚಣೆಯ ಆಯ್ಕೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಮತ್ತು ಅಪೇಕ್ಷಿತ ಎಚ್ಚಣೆ ದರವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ.